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掃描電鏡（SEM）用電子束掃描樣品表面，收集攜帶電子束與樣品相互作用信息的反射電子。如果樣品倉內(nèi)殘留有空氣，空氣原子與電子束相互作用，部分偏轉(zhuǎn)電子，并在圖像上增加噪聲。

這就是掃描電鏡成像前必須達(dá)到一定真空度的原因。但是，雖然高的真空對于準(zhǔn)確的分析來說是至關(guān)重要的，但它也會對某些類型的材料成像產(chǎn)生負(fù)面影響，例如含有水分的樣品。閱讀這篇博客，了解如何在掃描電鏡的真空環(huán)境中觀察對真空敏感的樣品，并保持樣品結(jié)構(gòu)完整。

SEM中的真空度

首先，我們來談?wù)剴呙桦婄R（SEM）中的真空度。真空度（或壓力值）可由操作者控制。對于臺式掃描電鏡，真空度在1 - 10帕斯卡之間。用于比較的是：大氣壓是100000帕斯卡。

當(dāng)壓力降到大氣壓值以下時(shí)，所有液體都會發(fā)生相變。因此所有掃描電鏡（SEM）的內(nèi)部必須采用不受高真空度影響的特殊材料。

有些樣品會受到影響，并且它們的行為也會有所不同：zui敏感的是含水樣品。

有內(nèi)部孔隙的樣品，或者是由含水材料制成的樣品，都可能會受到影響，因?yàn)樗鼈儠诔上襁^程中釋放出氣體。

任何從樣品中釋放出的氣體都是成像工具的風(fēng)險(xiǎn)，因?yàn)樗赡軙廴剧R筒或探測器，損害儀器的功能，或影響圖像質(zhì)量。出于這個(gè)原因，飛納臺式掃描電鏡（Phenom Desktop SEM）通常配備一個(gè)保護(hù)程序，當(dāng)檢測到突然或意外增加的壓力水平時(shí)，會彈出樣品。